Meine Wahl wäre ein Ausgleichsmasse. Da gibt es durchaus welche die von 2 mm - mehrere cm können.
Die "normale" Ausgleichsmasse ist eher für geringe Aufbauhöhen gedacht und kann unter Beimischung von Sand bis zu ca. 2cm Dicke eingebracht werden.
Aber......Ich habe damit Erfahrungen gemacht. Ca. 80 m². So schön locker flockig ist das dann doch nicht wie man sich das vorstellt. Einfach Eimer in den Raum kippen und das Zeug nivelliert sich. Das klappt so nicht. Man sollte schon Erfahrung damit haben. Je nach Klimabedingungen und Alter des Zeugs musst Du etwas mehr Wasser beifügen, sonst zieht der an bevor du den verteilt hast. Ist ne Erfahrungssache.
Bei 7cm sind wir auch eher im Bereich Fließestrich. Aber das ist dann auch schon ne Menge Gewicht.
Ich würde es final entweder machen wie yoghurtbeschrieben hat. Mit der entkoppelten Balkenlage.
oder
Die Idee mit der FBH. Das bietet sich ja förmlich an.
Kauf Dir alukaschierte Dämmplatten unterschiedlicher Höhe und stelle damit eine einigermassen gerade Ebene her.
Darauf dann ein Niedrigaufbausystem FBH (z.B.Bekotec. Gibt inzw. viele andere auf dem Markt). Die kommen mit nur 7mm Deckung aus. Hat den Vorteil der Höhe und auch die Reaktionszeit ist eine andere. Hab ich bei mir im Altbau eingebaut. Super. Dann definitiv mit Fließestrich drüber.Der sich dann auch "selber" nivelliert und den Vorteil hat nach 24 STd. begehbar zu sein und keine 4 Wochen Wartezeit hat bevor Du was drauflegen kannst.
Darauf Parkett oder Fliesen (mit Ditramatte). Das wäre für mich die sinnigste Lösung.
Ist aber natürlich in Abhängigkeit des Heizungssystemes. Aber auch da kann man eine Splitlösung machen. FBH + normale Heizkörper. Hab ich im übrigen auch.